德国thyracont冷阴极真空计VSM 1000到5*E-9mbar优势

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德国thyracont冷阴极真空计VSM 1000到5*E-9mbar优势

2025-09-02 09:06:46 来源：赫尔纳
大连力迪流体控制技术有限公司作为thyraconts代理，诚挚为各位提供德国thyracont全系列产品。
一、Thyracont品牌核心优势
德国Thyracont成立于1970年，50余年专注真空测量技术创新，以高精度、耐用性及智能化为核心竞争力。其产品融合传统工艺与现代技术，例如首创的微型Pirani螺旋丝和宽量程组合传感器，已成为行业标准。

真空表优势：
具有16bar的超压稳定性，无需超压阀，节约成本
响应速度快，精度高
防护等级*高可达IP54
法兰处耐温度，高达160摄氏度
输出信号:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet满足不同的控制系统连接
VSM 1000到5*E-9mbar 皮拉尼/冷阴极
1. 在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要高于2*E-3mbar。
挑战一个合适的真空规需要满足既能够监控镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的*小压力1*E-6mbar我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来监控*小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1*E-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
1. 解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜设备过程都在皮拉尼的监控之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到*小压力时才会被启动。镀膜设备的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
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